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LCP-25 実験用エリプソメーター

簡単な説明:

手動楕円旋光計は、吸光法を使用してフィルムの厚さと屈折率を測定し、テストプロセスの偏差と偏差角度を手動で調整します。エリプソメトリーは、固体基板上の誘電体薄膜の測定に広く使用されています。フィルムの厚さを測定する方法では、最も薄く、最高の精度で測定できます。


製品の詳細

製品タグ

仕様

説明 仕様
厚み測定範囲 1nm~300nm
入射角の範囲 30º ~ 90º、エラー≤ 0.1º
偏光子と検光子の交差角度 0°~180°
ディスク角度スケール 目盛りごとに 2°
最小。バーニアの読み方 0.05°
光心高さ 152mm
ワークステージ径 Φ50mm
全体寸法 730×230×290mm
重さ 約20kg

部品表

説明 数量
エリプソメーターユニット 1
He-Neレーザー 1
光電アンプ 1
フォトセル 1
シリコン基板上のシリカ膜 1
解析ソフトウェア CD 1
取扱説明書 1

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