LCP-25 実験用エリプソメーター

簡単な説明:

手動楕円偏光計は、消光法を用いて膜の厚さと屈折率を測定し、試験工程における偏向と偏角を手動で調整します。エリプソメトリーは、固体基板上の誘電体薄膜の測定に広く用いられています。この方法では、膜の厚さを最も薄く、最も高い精度で測定できます。