LCP-25 実験用エリプソメーター
仕様
説明 | 仕様 |
厚み測定範囲 | 1nm~300nm |
入射角の範囲 | 30º ~ 90º、エラー≤ 0.1º |
偏光子と検光子の交差角度 | 0°~180° |
ディスク角度スケール | 目盛りごとに 2° |
最小。バーニアの読み方 | 0.05° |
光心高さ | 152mm |
ワークステージ径 | Φ50mm |
全体寸法 | 730×230×290mm |
重さ | 約20kg |
部品表
説明 | 数量 |
エリプソメーターユニット | 1 |
He-Neレーザー | 1 |
光電アンプ | 1 |
フォトセル | 1 |
シリコン基板上のシリカ膜 | 1 |
解析ソフトウェア CD | 1 |
取扱説明書 | 1 |
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