LCP-25実験用エリプソメーター

簡単な説明：

手動式楕円偏光計は、消光法を用いて膜の厚さと屈折率を測定し、測定工程における偏向角と偏向角度を手動で調整します。エリプソメトリーは、固体基板上の誘電体薄膜の測定に広く用いられています。膜厚測定法においては、極めて薄い膜まで、かつ高精度で測定することが可能です。