LCP-25実験用エリプソメーター
前書き
手動楕円偏光計は、消光法を使用してフィルムの厚さと屈折率を測定し、テストプロセスの偏差と偏差角度を手動で調整します。エリプソメトリーは、固体基板上の誘電体薄膜の測定に広く使用されています。膜厚の測定方法では、最も薄く、最も高い精度で測定することができます。
仕様
| 説明 | 仕様 |
| 厚さ測定範囲 | 1 nm〜300 nm |
| 入射角の範囲 | 30º〜90º、エラー≤0.1º |
| 偏光子と検光子の交点角度 | 0º〜180º |
| ディスク角度スケール | スケールあたり2º |
| 最小 バーニアの読書 | 0.05º |
| 光学中心の高さ | 152 mm |
| 作業段階の直径 | Φ50mm |
| 全体寸法 | 730x230x290 mm |
| 重量 | 約20kg |
部品表
| 説明 | 数量 |
| エリプソメーターユニット | 1 |
| He-Neレーザー | 1 |
| 光電増幅器 | 1 |
| フォトセル | 1 |
| シリコン基板上のシリカ膜 | 1 |
| 分析ソフトウェアCD | 1 |
| 取扱説明書 | 1 |
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